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更新日期：2024-03-17
簡要描述：
日本napson晶圓平整度測量厚度檢測FLA-200非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度（TTV，BOW，WARP）和厚度。
| 類型 | 數(shù)字式 | 測量范圍 | 1 |
|---|
日本napson晶圓平整度測量厚度檢測FLA-200
非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度（TTV，BOW，WARP）和厚度。
測量目標(biāo)
?半導(dǎo)體/太陽能電池材料相關(guān)（硅，多晶硅，SiC等）
?硅基外延，離子注入樣品
?化合物半導(dǎo)體相關(guān)（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
測量尺寸
3-8英寸
測量范圍
厚度：200 –1200μm
弓形：+/- 350μm
翹曲：350μm
